2.1 什么是PSS?

PSS（Phosphorus Safe Supply磷源安全供料）系统，是一种在太阳能电池片生产的扩散工艺中使用三氯氧磷(POCl₃)的新型专用供料系统。该系统由高纯PFA磷源储罐和POCl₃专用供料装置组成。

2.2 PFA桶的基本性质和性能测试

PFA磷源储罐由高纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）制成，是我公司研发，拥有自主知识产权，并委托美国ENTEGRIS生产的高纯三氯氧磷专用包装物，用它直接替代石英源瓶进行装盛、鼓泡扩散。其具有良好密封性、耐摔、耐腐蚀、耐高温等性质。

2.2.1 PFA桶性能检测视频

2.2.2 PFA桶和石英源瓶对比视频

2.2.3 PSS系统换源视频

2.3 磷源供料方式对比

2.4 结论

PFA桶的优点：

①、由高纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）材料制造，耐腐蚀，与POCl₃不发生反应；

②、耐冲击，不易破碎，更安全；

③、容量大（5L），换源周期长，约3个月；

④、扩口连接，密封性更好，连接强度是普通挤压连接的20～30倍；

⑤、采用旋塞阀，阀位开关指示清晰；

PSS系统与传统恒温设备相比有以下优点：

①、采用压缩机制冷恒温，相比半导体制冷恒温，设备稳定性更高，更可靠；

②、磷源处于安全密闭环境，且配备POCl₃ 探头，报警排风装置。当出现意外情况时，对生产环境不会产生任何影响；

③、PSS系统换源时，离地仅0.5m左右，较传统换源最高离地2.5m而言，更安全，杜绝了高空作业，降低了操作安全风险；

④、因采取了密封、保温措施，PSS系统能耗低，能耗仅为4台冷阱的20%或2台水浴锅的60%；